美国最新出口管制仅限制向个别先进芯片制造晶圆厂发运特定型号的中高端DUV浸润式光刻机
荷兰此前颁布的对华出口部分先进DUV光刻机的禁令实行。当地时间1月1日，荷兰光刻机巨头阿斯麦（NASDAQ：ASML/AMS：ASML）在官网发声明称，近日荷兰政府部分撤销了此前颁发的NXT:2050i和NXT:2100i两个型号光刻机的出口许可证，这将对部分中国客户产生影响。
在此次声明中阿斯麦称，预计此次出口许可证撤销及最新的美国出口管制限制不会对2023年的财务情况产生重大影响。
阿斯麦还表示，近期美国政府在与其沟通时对2023年10月17日发布的最新出口管制的适用范围和影响做出了进一步澄清。该禁令限制向个别先进芯片制造晶圆厂发运特定型号的中高端DUV浸润式光刻机。但这一表态与此前类似，尚不清楚美国政府是否向其提供了更多信息。
2023年9月1日，荷兰政府发布的《先进半导体制造设备法规》生效。（详见财新网报道《荷兰出口管制生效 阿斯麦部分DUV光刻机年后不再对华出口》）该管制生效后，阿斯麦发运NXT：2000i、NXT：2050i、NXT：2100i三个型号及后续推出的关键浸润式光刻系统都必须获得荷兰当局的许可。荷兰政府将决定是否授予或拒绝阿斯麦的许可申请。
在阿斯麦当时发给财新的一份声明中，阿斯麦就称，年底前阿斯麦仍然能够履行与客户签订的合同，发运前述光刻设备。从2024年1月1日起，阿斯麦将基本不能获得对华出口NXT：2000i及后续推出的关键浸润式DUV系统的出口许可。
事实上，由于荷兰政府发布的《先进半导体制造设备法规》有着较长的政策咨询期，阿斯麦公司、中国晶圆厂和业界普遍有预期。而美国于2023年10月17日升级的芯片管制，将光刻机红线进一步收紧至中国晶圆厂采买更多的NXT:1980Di，这一新限制有何影响、何时落实更受关注。（详见财新网报道《美国升级芯片管制④｜光刻机红线再收紧 ASML研判如何影响中国市场》）
阿斯麦CEO温宁克（Peter Wennink）于2023年10月18日的三季度财报会上称，“原则上NXT1980Di受美国芯片出口管制限制，但该限制的前提是这些浸润式光刻机被用来生产先进制程的芯片，我们被告知生产先进制程的晶圆厂仅为少数（a handful of Fabs），这意味着仅有少数晶圆厂受到限制，大多数（vast majority）的中国客户仍无需许可证就可获得该机台，用来生产成熟、中低关键（low-mid critical）制程芯片”。
温宁克当时还预计，2023年10%-15%出货到中国的光刻机将会受到美国新限制的影响。他强调，NXT1980Di属于低端浸润式工具（low-end immersion tool），因此美国出口管制新规只会限制中国个别晶圆厂。“我们也有很多中国客户用这些机器生产中端、成熟制程，这些情况下没有安全的忧虑，我们就可以出货。”
2023年，ASML向中国客户的出货猛增。前三财季，中国市场营收占比分别为8%、24%、46%，从第四大市场跃居至第一大市场。以光刻机系统销售额粗略测算，第三财季中国大陆外的主要市场销售额全线暴跌，中国台湾、韩国、美国市场销售额分别为12.74亿、10.62亿、2.65亿欧元，分别环比减少33%、29%、52%，中国大陆销售额则环比上升81%，至24.42亿欧元，创下单季销售纪录。
这让外界猜测ASML是否赶在美国限制生效前给中国客户集中出货。温克宁在三季度财报会上称，“中国市场占比高是因为中国客户过去的订单很多没有交付，其中很多订单都已经预付款。现在中国大陆外其他市场对成熟制程的需求下降，我们可以给中国客户更多出货”。财报显示，第三财季，中国客户订单积压量占比20%，与以往占比保持一致。
值得一提的是，阿斯麦现年66岁的CEO温宁克、同样是66 岁的CTO Martin van den Brink即将于2024年4月24日从阿斯麦退休。CEO一职将由现任首席商业官（Chief Business Officer）、法国人Christophe Fouquet接任。
温宁克、Martin van den Brink均为荷兰人，两人分别于1999年、1984年加入阿斯麦，并于1999年起均称为公司高管，分别负责财务、市场和技术。2013年起二人分别担任阿斯麦的董事长兼CEO、副董事长兼CTO。
在二人带领下，阿斯麦成功度过了2000年的科网泡沫和2008年的金融危机，并在2010年研制出EUV工程样机，其后迅速占领先进制程晶圆制造市场，击败佳能、尼康，一跃成为全球光刻机霸主，目前仍是全球唯一能够生产EUV光刻机的厂商。
随着地缘政治转向，尽管荷兰政府2018年决定禁止阿斯麦向中国出口最先进的EUV（极紫外线）光刻机，在2022年10月7日开始的本轮美国半导体出口管制新规中，温宁克带领下的阿斯麦一直扮演了调停者的角色。中国市场也是过去10年阿斯麦增长最快的市场。
温宁克在2023年1月就直言美国主导的出口管制将最终导致中国发展起自己的半导体设备，出口管制会阻挠产业效率和创新。“如果得不到这些设备，他们就会自主研发，这可能需要时间，但他们最后一定能做到。增加压力只会迫使他们加大投入。”
2023年3月，温宁克到北京参加中国发展高层论坛，公开行程仅有拜会商务部部长王文涛。据商务部网站，王文涛向温宁克传达了中国政府为外资创造良好营商环境的决心，并呼吁共同维护全球半导体产业链供应链稳定。
一名知情人士当时告诉财新，温宁克此次访华不到一个星期，除拜会了商务部部长王文涛，还召开了员工大会向中国员工传递信心。此外，他还拜访了中芯国际、华虹半导体等中国市场主要客户。
与温宁克多次公开批评妨碍全球化的政策不同，即将上任的阿斯麦CEO Christophe Fouquet给外界的印象更为谨慎，此前鲜少参与政策讨论。在2023年11月30日举行的线上媒体沟通会上，Christophe Fouquet强调，全球半导体产业需要高度合作、很难脱钩，此前已经多次向外界传达这一信息，阿斯麦也将继续坚信这一点。
对于美国政府未来是否会进一步收紧半导体出口管制，Christophe Fouquet称，“这取决于美国政府最终目标是什么，此前禁售EUV就是关键一步，EUV是实现先进制程的关键，尽管我们也会给政府一些建议，但后续完全取决于美国认为怎么做是正确的。”
本文转自于 财新网
